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表面缺陷检测仪
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品 牌
Nanotronics
型 号nSpec
-
模 式
-
选 项
- 地 址
陕西 西安
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价 格
面议
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- 联系电话：400-086-3999 转 801
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- 详细介绍
仪器简介
可分辨外延层表面200nm-1μm尺寸的缺陷 可分辨多种形状、微管、裂缝等缺陷形貌 可搭载2"-8"wafer
仪器参数
含×5，×10，×20三组物镜 白光LED照明，可明、暗视场转换操作，自动对焦 单个像素尺寸：7.4μm，成像尺寸：1600×1200像素
检测项目
测试表面缺陷的尺寸、数目、密度等
仪器简介
可分辨外延层表面200nm-1μm尺寸的缺陷 可分辨多种形状、微管、裂缝等缺陷形貌 可搭载2"-8"wafer
仪器参数
含×5，×10，×20三组物镜 白光LED照明，可明、暗视场转换操作，自动对焦 单个像素尺寸：7.4μm，成像尺寸：1600×1200像素
测试项目
测试表面缺陷的尺寸、数目、密度等
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