A-Step膜厚段差测量仪
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品 牌
VEECO
型 号Dektak150
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模 式
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选 项
- 地 址
陕西 西安
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价 格
面议
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- 详细介绍
仪器简介
测量重复性:6A,1σon 1um step,最大厚度100mm,最大晶圆尺寸150mm,X-Y-θ手动调节
仪器参数
扫描长度 ≥55mm 单次扫描最大数据点 60,000个 垂直范围量程:524um 垂直分辨率:1A(at 6.55um range)
检测项目
台阶高度
仪器简介
测量重复性:6A,1σon 1um step,最大厚度100mm,最大晶圆尺寸150mm,X-Y-θ手动调节
仪器参数
扫描长度 ≥55mm 单次扫描最大数据点 60,000个 垂直范围量程:524um 垂直分辨率:1A(at 6.55um range)
测试项目
台阶高度