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A-Step膜厚段差测量仪

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A-Step膜厚段差测量仪

  • 品 牌

    VEECO

    型 号

    Dektak150

  • 模 式

    • 选 项

      • 地 址

        陕西 西安

      • 价 格

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仪器简介

测量重复性:6A,1σon 1um step,最大厚度100mm,最大晶圆尺寸150mm,X-Y-θ手动调节

仪器参数

扫描长度 ≥55mm 单次扫描最大数据点 60,000个 垂直范围量程:524um   垂直分辨率:1A(at 6.55um range)

检测项目

台阶高度

仪器简介

测量重复性:6A,1σon 1um step,最大厚度100mm,最大晶圆尺寸150mm,X-Y-θ手动调节

仪器参数

扫描长度 ≥55mm 单次扫描最大数据点 60,000个 垂直范围量程:524um   垂直分辨率:1A(at 6.55um range)

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