纳米扫描俄歇系统
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品 牌
日本ULVAC-PHI
型 号PHI700
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模 式
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选 项
- 地 址
北京
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价 格
400
- 联系人:易科学客服
- 联系电话:400-086-3999 转 801
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- 详细介绍
仪器简介
纳米扫描俄歇系统简介:
在SEM功能的帮助下,选定所需要的微区(最小8nm),分析其在最表层(5nm以内)的元素。也可以做线扫描和面扫描,分析该区域内最表层(5nm以内)的元素的分布。可以进行逐层地剥离,做元素的深度分布分析。对部分元素,可以对上述分析所得信息进行有关的元素化学态分析。可以对上述所选区域进行EBSD分析,包括晶粒取向分析、取向差分布、织构分析和晶粒尺寸测量等。
仪器参数
纳米扫描俄歇系统仪器参数或性能:
极限真空≤6.7×10-8Pa;
场发射二次电子图像,分辨率≤6nm at 1nA,20KV;
灵敏度10KV, 10nA on Cu≥700kcps(Cu LMM);
角分辨率angle<25%±45°
样品要求
仪器简介
纳米扫描俄歇系统简介:
在SEM功能的帮助下,选定所需要的微区(最小8nm),分析其在最表层(5nm以内)的元素。也可以做线扫描和面扫描,分析该区域内最表层(5nm以内)的元素的分布。可以进行逐层地剥离,做元素的深度分布分析。对部分元素,可以对上述分析所得信息进行有关的元素化学态分析。可以对上述所选区域进行EBSD分析,包括晶粒取向分析、取向差分布、织构分析和晶粒尺寸测量等。
仪器参数
纳米扫描俄歇系统仪器参数或性能:
极限真空≤6.7×10-8Pa;
场发射二次电子图像,分辨率≤6nm at 1nA,20KV;
灵敏度10KV, 10nA on Cu≥700kcps(Cu LMM);
角分辨率angle<25%±45°
样品要求
纳米扫描俄歇系统对样品要求:
1. 块状样品尺寸≤5mm×5mm×5mm;粉末样品用量≤5mg。
2. 经干燥处理、无挥发、无放射性、无磁性、无结晶水且不具有吸水性、无腐蚀物质。