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纳米扫描俄歇系统

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纳米扫描俄歇系统

  • 品 牌

    日本ULVAC-PHI

    型 号

    PHI700

  • 模 式

    • 选 项

      • 地 址

        北京

      • 价 格

        400

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仪器简介

纳米扫描俄歇系统简介:

在SEM功能的帮助下,选定所需要的微区(最小8nm),分析其在最表层(5nm以内)的元素。也可以做线扫描和面扫描,分析该区域内最表层(5nm以内)的元素的分布。可以进行逐层地剥离,做元素的深度分布分析。对部分元素,可以对上述分析所得信息进行有关的元素化学态分析。可以对上述所选区域进行EBSD分析,包括晶粒取向分析、取向差分布、织构分析和晶粒尺寸测量等。

仪器参数

纳米扫描俄歇系统仪器参数或性能: 

极限真空≤6.7×10-8Pa;

场发射二次电子图像,分辨率≤6nm at 1nA,20KV;

灵敏度10KV, 10nA on Cu≥700kcps(Cu LMM);

角分辨率angle<25%±45°

样品要求
仪器简介

纳米扫描俄歇系统简介:

在SEM功能的帮助下,选定所需要的微区(最小8nm),分析其在最表层(5nm以内)的元素。也可以做线扫描和面扫描,分析该区域内最表层(5nm以内)的元素的分布。可以进行逐层地剥离,做元素的深度分布分析。对部分元素,可以对上述分析所得信息进行有关的元素化学态分析。可以对上述所选区域进行EBSD分析,包括晶粒取向分析、取向差分布、织构分析和晶粒尺寸测量等。

仪器参数

纳米扫描俄歇系统仪器参数或性能: 

极限真空≤6.7×10-8Pa;

场发射二次电子图像,分辨率≤6nm at 1nA,20KV;

灵敏度10KV, 10nA on Cu≥700kcps(Cu LMM);

角分辨率angle<25%±45°

样品要求

纳米扫描俄歇系统对样品要求:

1. 块状样品尺寸≤5mm×5mm×5mm;粉末样品用量≤5mg。

2. 经干燥处理、无挥发、无放射性、无磁性、无结晶水且不具有吸水性、无腐蚀物质。


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