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SEM-EDS 扫描电镜能谱仪检测

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SEM-EDS 扫描电镜能谱仪检测

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仪器简介


1、仪器名称   SEM-EDS

2、仪器型号  JSM-6360LV (SEM) coupled with OXFORD INCA  (EDS)

3、生产日期  

4、购置日期

5、生产厂商  

6、产品特点/仪器简介  

7、技术参数  

8、应用范围/领域

9、应用案例(用该仪器做过哪些实验,或者照片)


该设备可用于材料的组织形貌观察和样品的成分分析。其中的能谱分析仪包括电子束任意定位和分析(Point&ID)及智能化元素线分布(SmetMap         Element Linescans)。
       该设备主要性能参数为:
       高真空模式分辨率:3.0nm
低真空模式分辨率:4.0nm
放大倍数:×5~300,000
图象种类:SCI,BEI
加速电压:0.5KV~30KV
图象平移:-50μm~+50μm
低真空度:1~270Pa


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