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HALL载流子浓度测试仪
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品 牌
Nanometrics
型 号HL5500PC
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模 式
-
选 项
- 地 址
陕西 西安
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价 格
面议
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- 联系人：易科学客服
- 联系电话：400-086-3999 转 801
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- 详细介绍
仪器简介
可搭载2"-4"wafer，量测范围≤24mm 表面电阻率10-4 -106Ω/sq 载流子浓度106 -1021cm-3 迁移率：1~107cm2/Vs
仪器参数
永久磁场，磁场强度：0.32T ±1%，十年内漂移率小于0.1% 可选择给电流量电压方式0.1uA-19.9mA，或给电压量电流方式：4-200mV（bar&bridge模式电压：4-2000mV），
检测项目
可测试半导体材料及外延层材料电阻率，载流子浓度及迁移率
仪器简介
可搭载2"-4"wafer，量测范围≤24mm 表面电阻率10-4 -106Ω/sq 载流子浓度106 -1021cm-3 迁移率：1~107cm2/Vs
仪器参数
永久磁场，磁场强度：0.32T ±1%，十年内漂移率小于0.1% 可选择给电流量电压方式0.1uA-19.9mA，或给电压量电流方式：4-200mV（bar&bridge模式电压：4-2000mV），
测试项目
可测试半导体材料及外延层材料电阻率，载流子浓度及迁移率
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