仪器设备厂商及型号:
日本电子公司 JSM-6510A

性能参数:
1、 低电压分辨率全世界最高
  二次电子探测器：3.0nm（30kV），8.0nm（3kV），15nm（1kV），
背散射电子探测器：4.0nm（30kV）
2、全自动电子枪;
3、大视野观察范围;
4、高精度的变焦聚光镜系统：探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。且不需经常清洗;
5、超级圆锥形物镜;
6、高灵敏度半导体背散射探头;
7、全对中的样品台 ;
8、高灵敏度能谱（EDS）分析：分辨率高，可检测铍（Be）以上元素，分析速度快，线扫描只需1min左右。
9、界面，处理数据简捷、方便

主要功能和用途:
SEM照相;能谱分析（EDS）

仪器设备厂商及型号:
日本电子公司 JSM-6510A

性能参数:
1、 低电压分辨率全世界最高
  二次电子探测器：3.0nm（30kV），8.0nm（3kV），15nm（1kV），
背散射电子探测器：4.0nm（30kV）
2、全自动电子枪;
3、大视野观察范围;
4、高精度的变焦聚光镜系统：探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。且不需经常清洗;
5、超级圆锥形物镜;
6、高灵敏度半导体背散射探头;
7、全对中的样品台 ;
8、高灵敏度能谱（EDS）分析：分辨率高，可检测铍（Be）以上元素，分析速度快，线扫描只需1min左右。
9、界面，处理数据简捷、方便

主要功能和用途:
SEM照相;能谱分析（EDS）