型号：蔡司EVO18

性能指标：

EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。 

主要参数： 

1、光学系统 

1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。

1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

1.3、光阑：三级可调物镜光阑。

1.4、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。

1.5、图像电平移：±50µm。

1.6、放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。

1.7、分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）。 1.8、探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。

1.9、聚焦工作距离：2mm~145mm。

1.10、电子束气体路径长度：＜2mm。

2、真空系统

2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。 

2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa； 

低真空压力范围：10Pa~400Pa。 

2.3、在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。

3、样品系统 

3.1、样品室内部尺寸：φ365mm×275mm。 

3.2  可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm。

3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。

3.4、样品台移动方式：五轴马达驱动。 

3.5、样品台移动范围：X 125mm, Y 125mm, Z 50mm,0°~+90°倾斜，360°旋转 。  

3.6、样品台移动精度：重复性<2 µm；最小步长90nm；漂移<40nm/6min。 

3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。 

3.8、具备样品位置感知功能。 

4、 探测器系统 

4.1、具备高真空二次电子探测器。 

4.2、具备低真空二次电子探测器。（选配） 

4.3、具备背散射电子探测器。 

4.4、具备X射线能谱仪接口。 

4.5、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。 

4.6、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。 

4.7、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。  

5、牛津电制冷X射线能谱仪Inca X-Act 

5.1、探测器制冷方式：电制冷型。 

5.2、探测器：硅漂移探头。 

5.3、有效探测面积： 10mm2。 

5.4、20,000cps时的能量辨率：Mn Ka：≤129eV F  Ka：≤66eV C  Ka：≤56eV 

5.5、元素探测范围：Be（4）~Pu（94） 

5.6、最大输入计数：>750,000cps

应用：

广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。 在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

型号：蔡司EVO18

性能指标：

EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。 

主要参数： 

1、光学系统 

1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。

1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。

1.3、光阑：三级可调物镜光阑。

1.4、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。

1.5、图像电平移：±50µm。

1.6、放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。

1.7、分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）。 1.8、探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。

1.9、聚焦工作距离：2mm~145mm。

1.10、电子束气体路径长度：＜2mm。

2、真空系统

2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。 

2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa； 

低真空压力范围：10Pa~400Pa。 

2.3、在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。

3、样品系统 

3.1、样品室内部尺寸：φ365mm×275mm。 

3.2  可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm。

3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。

3.4、样品台移动方式：五轴马达驱动。 

3.5、样品台移动范围：X 125mm, Y 125mm, Z 50mm,0°~+90°倾斜，360°旋转 。  

3.6、样品台移动精度：重复性<2 µm；最小步长90nm；漂移<40nm/6min。 

3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。 

3.8、具备样品位置感知功能。 

4、 探测器系统 

4.1、具备高真空二次电子探测器。 

4.2、具备低真空二次电子探测器。（选配） 

4.3、具备背散射电子探测器。 

4.4、具备X射线能谱仪接口。 

4.5、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。 

4.6、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。 

4.7、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。  

5、牛津电制冷X射线能谱仪Inca X-Act 

5.1、探测器制冷方式：电制冷型。 

5.2、探测器：硅漂移探头。 

5.3、有效探测面积： 10mm2。 

5.4、20,000cps时的能量辨率：Mn Ka：≤129eV F  Ka：≤66eV C  Ka：≤56eV 

5.5、元素探测范围：Be（4）~Pu（94） 

5.6、最大输入计数：>750,000cps

应用：

广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。 在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。

在线沟通